CF4,Carbon tetrafluoride,tetrafluoromethane

CAS NO.:75-73-0

MW:88

EC NO.:200-896-5

Formula: CF4

InChI: InChI=1/CF4/c2-1(3,4)5

Item                              Unit                                Zhongli Fluoridation Standard

CF4 purity                     %                             ≥99.9              ≥99.99             ≥99.999
N2                                 PPm(v/v)                  ≤300               ≤25                  ≤3.0
02                                 PPm(v/v)                  ≤100               ≤20                  ≤1.5
H2O                              ug/g                          ≤10                 ≤2.0                 ≤1.0
CO                                PPm(v/v)                  ≤50                  ≤10                 ≤1.0
CO2                              PPm(v/v)                  ≤50                  ≤10                 ≤1.0 
HF                                 ug/g                         ≤3.0                 ≤3.0                ≤0.2
F-C                                PPm(v/v)                 ≤350                ≤20                 ≤2.0
SF6                               PPm(v/v)                  ≤50                 ≤10                  ≤0.3